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Product Name | 电子级氢氟酸 |
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Grade | EL, MOS, UP |
电子级氢氟酸是氟化氢的水溶液。无色透明液体,25℃时密度为1.15gml (50% HF)。对金属、玻璃、混凝土等有很强的腐蚀性。电子级氢氟酸按纯度不同分为EL、UP、UPS、UPSS四个等级,其中UPSS等级为最高等级;
电子级氢氟酸是微电子工业生产过程中关键的基础化工材料之一。
——主要用于集成电路(ic)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,也可与过氧化氢、氨、硝酸、醋酸等配制;
——用于液晶显示(TFT-LCD)行业的玻璃基板、氮化硅和二氧化硅的蚀刻剂;
——用于太阳能电池工业硅表面的清洁和蚀刻剂。
同时,超高纯电子级氢氟酸还可作为分析试剂和制备高纯含氟化学品。
特点:
高纯度:避免在半导体制造过程中被杂质污染,我们的产品有助于提高您的芯片的性能和可靠性。
高洁净度:保持高洁净度,避免半导体制造过程中杂质的引入。这种清洁度不仅包括化学纯度,还包括颗粒和微生物等杂质的减少。
生产工艺:
1. 化学预处理后的无水氢氟酸注入精馏塔进行精馏,得到的氟化氢气体在吸收塔用超纯水冷却吸收,通过控制喷雾密度和气液比进一步提纯。
2. 经过0.2μm以下的超滤过程,最终产品——电子级氢氟酸在封闭、清洁的环境条件下灌装。
更多产品满足您的要求: ITO/Ag/ITO蚀刻溶液
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